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微納電子技術雜志發文分析
微納電子技術主要機構發文分析
機構名稱 | 發文量 | 主要研究主題 |
中國科學院 | 309 | 納米;光刻;晶體管;MEMS;傳感 |
中北大學 | 239 | MEMS;微電子;微電子機械;微電子機械系統;傳感 |
中國電子科技集團第十三研究所 | 225 | 微電子;微電子機械;微電子機械系統;MEMS;激光 |
河北工業大學 | 183 | CMP;化學機械拋光;機械拋光;拋光液;去除速率 |
上海交通大學 | 147 | 納米;微電子;微電子機械;微電子機械系統;MEMS |
太原理工大學 | 113 | 納米;傳感;感器;傳感器;氣敏 |
中國科學院微電子研究所 | 111 | 光刻;納米;電子束光刻;金屬;感器 |
清華大學 | 74 | 感器;傳感;傳感器;自旋;納米 |
專用集成電路與系統國家重點實... | 60 | 隧穿;遷移率;共振隧穿;RTD;MEMS |
中國科學院大學 | 60 | 微電子;MEMS;微電子機械;微電子機械系統;納米 |
《微納電子技術》雜志是由中國電子科技集團公司第十三研究所主辦的月刊,審稿周期預計為1-3個月。該雜志的欄目設置豐富多樣,涵蓋技術論壇、材料與結構、MEMS與傳感器、加工、測量與設備等。
該雜志為學者們提供了一個交流學術成果和經驗的平臺,發表的文章具有較高的學術水平和實踐價值,為讀者提供更多的實踐案例和行業信息,得到了廣大讀者的廣泛關注和引用。