向《真空科學與技術學報》雜志投稿發表的步驟如下：

一、了解投稿要求

在投稿前，需要仔細研究《真空科學與技術學報》雜志的定位、風格、欄目設置等，確保自己的稿件與雜志的定位和需求相匹配。

其主要涵蓋的欄目包括綜述評述、研究快報、研究論文等。

二、準備投稿材料

根據投稿要求，準備相應的投稿材料。

（1）若論文課題為基金資助項目，請附基金名稱、課題名稱和編號。

（2）來稿通過電子郵件（WORD文檔附件）發送，來稿不退。

（3）稿件文責自負，務求原創作品，嚴禁剽竊、抄襲行為。

（4）正文要求主題明確、論點新穎、論據可靠、語言簡練、具可讀性。

（5）參考文獻：參考文獻以作者親自閱讀過的近5 年文獻為主，一般不少于15 條，文獻按順序編碼制著錄。

三、投稿

《真空科學與技術學報》雜志大多采用網絡投稿系統，投稿時需按照系統提示完成以下步驟：

作者注冊、查看投稿須知和版權協議、填寫稿件信息和作者信息、上傳稿件和附件。

四、關注審稿進度與反饋

接收投稿成功通知：作者上傳稿件成功后，會接到雜志社發送的投稿成功通知郵件。

稿件審理流程：稿件會按投稿欄目分配給責任編輯初審，初審后提交主任復審，復審通過后提交主編終審。

真空科學與技術學報是一本由中國真空學會主辦的月刊，期刊級別為北大期刊、CSCD期刊、統計源期刊，預計審稿周期為1-3個月。

接收審稿結果：主編終審通過后，會向作者發送錄用通知郵件。如果稿件被退回或需要修改，作者需要根據審稿人的意見認真修改稿件，并考慮再次投稿。

希望這些建議能夠幫助您成功投稿并發表作品。