《微細加工技術》雜志的收稿方向主要包括：綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術等。

該雜志收稿方向廣泛，涵蓋了電子的多個重要領域和前沿話題，為電子工作者和研究者提供了一個交流和分享學術成果的重要平臺。

《微細加工技術》雜志投稿要求

（1）題目：應反映文章主要內容，一般不用副標題，不超過20個漢字，避免使用非公知的外文縮寫。

（2）本刊將對一稿兩投者表示公開譴責，通知作者單位，并2年內拒絕該文第一作者的任何來稿。

（3）來稿一經采用，因人力所限一般不退稿，請作者自留底稿，文稿署名自便，但來稿請注明作者真實姓名、單位、職稱、通訊地址、郵政編碼及電話，以便聯系。

（4）注釋時，必須將其作者姓名、文獻名、出版社、出版時間、所屬頁碼一并注出。

（5）參考文獻：作者年份制，正文中以（作者，年份）形式置于對應處；詳細內容采用文后注形式，中文在前、英文在后，以音序排序，具體著錄格式見附件。

《微細加工技術》雜志是由信息產業部主管和中國電子科技集團公司第48研究所主辦的學術理論期刊，創刊于1983年，國內外公開發行，國際刊號ISSN為1003-8213，國內刊號CN為43-1140/TN，該雜志級別為統計源期刊，預計審稿周期為3-6個月。

該雜志在學術界具有較高的影響力，多次獲得國內外權威獎項，如Caj-cd規范獲獎期刊、北大圖書館收錄期刊等。

在收錄方面，《微細加工技術》雜志被多個知名數據庫收錄，包括：知網收錄(中)、維普收錄(中)、萬方收錄(中)、EI 工程索引(美)、國家圖書館館藏、上海圖書館館藏等，在電子領域具有較高的學術價值和影響力，是電子研究者和實踐者的重要參考刊物。