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微細加工技術雜志發文分析
微細加工技術主要機構發文分析
機構名稱 | 發文量 | 主要研究主題 |
中國科學院 | 192 | 光刻;電子束曝光;曝光機;電子束曝光機;掩模 |
上海交通大學 | 129 | 微機電系統;電系統;機電系統;MEMS;刻蝕 |
清華大學 | 60 | 微細;光刻;微細加工;離子束;聚焦離子束 |
中國科學技術大學 | 47 | 刻蝕;離子束;離子束刻蝕;光刻;衍射 |
電子工業部 | 46 | 離子注入;注入機;離子注入機;半導體;電路 |
中國科學院微電子研究所 | 38 | 光刻;掩模;X射線光刻;電子束曝光;分辨率 |
中國科學院長春光學精密機械與... | 34 | 光柵;MEMS;刻蝕;光刻;傳感 |
山東大學 | 29 | 電子束;電子束曝光;曝光機;電子束光刻;電子束曝光機 |
山東工業大學 | 28 | 電子束曝光;曝光機;電子束曝光機;電子束;電路 |
華中理工大學 | 26 | 刻蝕;濺射;半導體;等離子體;離子束 |
《微細加工技術》雜志是由中國電子科技集團公司第48研究所主辦的雙月刊,審稿周期預計為3-6個月。該雜志的欄目設置豐富多樣,涵蓋綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術等。
該雜志為學者們提供了一個交流學術成果和經驗的平臺,發表的文章具有較高的學術水平和實踐價值,為讀者提供更多的實踐案例和行業信息,得到了廣大讀者的廣泛關注和引用。